[发明专利]具冲击吸收器的微机电装置有效
| 申请号： | 201611242435.2 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108249381B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 许郁文;郭秦辅;黄肇达 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具冲击吸收器的微机电装置，其包括一基板、一盖体、一可动质量块以及一冲击吸收器。盖体与可动质量块设置于基板上。冲击吸收器设置于盖体上。冲击吸收器包括一限制元件、一固定式阻挡器、一可动式阻挡器、一弹性元件、一支撑元件以及一空间。固定式阻挡器设置于盖体的下表面。弹性元件连接限制元件及可动式阻挡器。支撑元件连接限制元件及固定式阻挡器。空间设置于固定式阻挡器与可动式阻挡器之间。冲击吸收器可避免可动质量块碰撞盖体。此外，冲击吸收器的支撑元件可为绝缘材料，以降低可动式阻挡器与可动质量块之间的静电力交互作用。 | ||
| 搜索关键词： | 冲击 吸收 微机 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微机电装置，包括：基板；盖体，设置于该基板上；可动质量块，设置于该基板上：以及冲击吸收器，设置于该盖体上，该冲击吸收器包括：限制元件；固定式阻挡器，设置于该盖体的下表面；可动式阻挡器；弹性元件，连接该限制元件及该可动式阻挡器；支撑元件，连接该限制元件及该固定式阻挡器；以及空间，设置于该固定式阻挡器与该可动式阻挡器之间。
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