[发明专利]硅基MEMS碟形陀螺在审
| 申请号： | 201611244538.2 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN106629576A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 王浩;权海洋;张奇荣;叶泽刚;朱红 | 申请（专利权）人： | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01C19/56 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心11009 | 代理人： | 范晓毅 |
| 地址： | 100076 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅基MEMS碟形陀螺，包括敏感结构、盖帽层、衬底层、金属层和绝缘层；其中，所述绝缘层与所述衬底层的上表面相连接；所述金属层与所述绝缘层相连接；所述金属层刻蚀有第一金属触点和第二金属触点；所述敏感结构与第一金属触点、第二金属触点相连接；所述盖帽层罩于所述敏感结构并与所述金属层相连接。本发明使得检测精度高和温度效应低。 | ||
| 搜索关键词： | 硅基 mems 陀螺 | ||
【主权项】：
一种硅基MEMS碟形陀螺，其特征在于包括：敏感结构、盖帽层(7)、衬底层(8)、金属层(9)和绝缘层(10)；其中，所述绝缘层(10)与所述衬底层(8)的上表面相连接；所述金属层(9)与所述绝缘层(10)相连接；所述金属层(9)刻蚀有第一金属触点(12)和第二金属触点(13)；所述敏感结构与第一金属触点(12)、第二金属触点(13)相连接；所述盖帽层(7)罩于所述敏感结构并与所述金属层(9)相连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所，未经北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611244538.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：旁热式微传感器及其制造方法
- 下一篇：一种MEMS红外光源及其制作方法
