[发明专利]一种用于均匀涂覆胶的装置

摘要

本发明公开了一种用于均匀涂覆胶的装置，解决的技术问题：针对背景技术中提及的现有昂贵的自动化程度很高的匀胶机无法满足使用量不大的单位的技术缺陷。采取的技术方案，一种用于均匀涂覆胶的装置，包括机架台，装置工作台面，至少一个的硅片承载装置、至少一个的集胶槽、驱动机构、抽真空机构和一路出气至少一路进气的气体转接器，气体转接器的进气气路的数量等于硅片承载装置的数量。本发明的有益效果是：本用于均匀涂覆胶的装置，结构简单，成本低，精度高，产量一般，很是适合使用率不高的单位使用。

主权项

1.一种用于均匀涂覆胶的装置，其特征在于：包括装置工作台面，在装置工作台面的下方通过支柱悬挂机架台，装置工作台面上设置硅片承载装置和集胶槽，硅片承载装置位于集胶槽内部，在机架台与装置工作台面之间设置用于驱动硅片承载装置旋转的驱动机构，在地面上放置有用于使得硅片吸附在硅片承载装置上的抽真空机构；抽真空机构包括机座，在机座上设置真空泵和电机，电机轴与真空泵泵轴之间通过皮带轮与皮带连接，真空泵的出气口连通外部大气，真空泵的进气口连通硅片承载装置；硅片承载装置包括底托、上盖和圆管连接件，底托和上盖之间构成空气腔，硅片放置在上盖表面上且上盖表面上设置多个密集气孔，气孔连通空气腔，圆管连接件设置在底托上且圆管连接件一端连通空气腔，另一端连接排气钢管，排气钢管通过气管连通真空泵的进气口；驱动机构包括设置在机架台上的伺服电机且伺服电机的输出轴竖直向上设置，在伺服电机的输出轴上水平设置有主动皮带轮盘，主动皮带轮盘上套装主动皮带，在圆管连接件上套装从动皮带轮盘，在从动皮带轮盘上套装从动皮带，主动皮带与从动皮带位于同一平面内且紧密接触。