[发明专利]一种空心陶瓷微球的制备方法

摘要

本发明涉及一种空心陶瓷微球的制备方法，包括提供金属球或金属氧化物球作为核芯；在高温流化床化学气相沉积装置中，在核芯上沉积形成热解碳层；在热解碳层上沉积形成碳化硅层和/或碳化硼层和/或碳化锆层，形成实心陶瓷颗粒；通过激光打孔设备，在实心陶瓷颗粒上开孔得到开孔微球，孔至少贯穿碳化硅层和/或碳化硼层和/或碳化锆层；高温氧化热处理开孔微球，除去其中的热解碳层形成无热解碳层微球；真空浸渍无热解碳层微球，除去其中的核芯形成空心陶瓷微球。根据本发明的空心陶瓷微球的制备方法，工艺简单，所得的空心陶瓷微球的粒径分布均匀、成品率高，适合大规模连续化工业生产。

主权项

1.一种空心陶瓷微球的制备方法，其特征在于，该制备方法包括如下步骤：S1，提供金属球或金属氧化物球作为核芯；S2，在高温流化床化学气相沉积装置中，在所述核芯上沉积形成热解碳层；S3，在所述热解碳层上沉积形成碳化硅层和/或碳化硼层和/或碳化锆层，形成实心陶瓷颗粒；S4，通过激光打孔设备，在所述实心陶瓷颗粒上开孔得到开孔微球，该孔至少贯穿碳化硅层和/或碳化硼层和/或碳化锆层；S5，在高温炉内，高温氧化热处理该开孔微球，除去其中的热解碳层形成无热解碳层微球；S6，真空浸渍该无热解碳层微球，除去其中的核芯形成空心陶瓷微球；其中，金属球或金属氧化物球的直径为500μm‑2000μm，以确保金属球或金属氧化物球在高温流化床化学气相沉积装置中形成稳定的喷动流型。