[发明专利]可调谐滤波器以及可调谐滤波器阵列

摘要

本发明公开了一种可调谐滤波器，其包括：半导体衬底；第一反射平面，形成在半导体衬底上；底部电极，包括相互电性绝缘的第一电极和第二电极，形成在第一反射平面上；支撑元件，设置在所述第二电极上，用于支撑金属桥面并将金属桥面电性连接到所述第二电极；金属桥面，由所述支撑元件支撑并且与所述底部电极相对设置，所述金属桥面为关于其中心点呈旋转对称的具有迷宫状的悬梁框架结构；第二反射平面，设置在金属桥面中并且从朝向第一反射平面的一侧暴露出。本发明还公开了一种可调谐滤波器阵列，其包括：具有读出电路的基底；阵列设置在所述基底上多个可调谐滤波器，其中，所述可调谐滤波器为如前所述的可调谐滤波器。

主权项

1.一种可调谐滤波器阵列，其特征在于，包括：具有读出电路的基底；阵列设置在所述基底上的多个可调谐滤波器，所述可调谐滤波器包括：半导体衬底；第一反射平面，形成在所述半导体衬底上；底部电极，包括相互电性绝缘的第一电极和第二电极，形成在所述第一反射平面上；支撑元件，设置在所述第二电极上，用于支撑金属桥面并将金属桥面电性连接到所述第二电极；金属桥面，由所述支撑元件支撑并且与所述底部电极相对设置，所述金属桥面为关于其中心点呈旋转对称的具有迷宫状的悬梁框架结构；第二反射平面，设置在所述金属桥面中并且从所述金属桥面朝向所述第一反射平面的一侧暴露出，所述第一反射平面与所述第二反射平面共同形成法布里‑珀罗谐振腔；其中，所有可调谐滤波器的金属桥面相互连接形成一体结构，所有可调谐滤波器的第二电极相互连接形成一体结构，任意相邻的两个可调谐滤波器相互紧密相连；在任意相邻的两个或两个以上的可调谐滤波器中的金属桥面相互连接的位置，设置有一个同时支撑并连接该些可调谐滤波器的金属桥面的支撑元件；其中，所述可调谐滤波器阵列被划分为多个探测区域，每一个探测区域包括若干个所述可调谐滤波器，每一个探测区域配置有一个第一焊盘，所有的探测区域配置有至少一个第二焊盘；每一个探测区域中所有的可调谐滤波器的第一电极连接到该探测区域对应的第一焊盘，相互连接形成一体结构的第二电极连接到所述第二焊盘。