[发明专利]IGBT及FRD芯片动态测试夹具

摘要

本发明涉及一种IGBT及FRD芯片动态测试夹具，在壳体内固定有隔板，在隔板上开设有抽气口，在隔板上设有芯片吸腔，在芯片吸腔的上腔板上开设有负压吸口，隔板上方的壳体上安装有惰性气体输入接口、惰性气体输出接口与负母排端口，在芯片吸腔上方设有可插拔测试探针与栅极测试探针，在隔板下方的壳体上安装有抽气管、正母排端口与通讯控制保护接口，正母排端口的连接线接在芯片吸腔的上腔板上，抽气管通过抽气口与芯片吸腔相连，在隔板下方的壳体内设有驱动板，在隔板下方设有陪测功率器件，在陪测功率器件上安装有第一、二负载电感插孔。本发明可以在不同温度下，根据不同电压电流等级的IGBT芯片调整不同的测试探针来安全、可靠、测试芯片。

主权项

一种IGBT及FRD芯片动态测试夹具，其特征是：在壳体（20）内固定有隔板（19），在隔板（19）上开设有抽气口，在隔板（19）上设有芯片吸腔（4），在芯片吸腔（4）的上腔板上开设有负压吸口，隔板（19）上方的壳体（20）上安装有惰性气体输入接口（11）、惰性气体输出接口（12）与负母排端口（15），在芯片吸腔（4）上方设有可插拔测试探针（5）与栅极测试探针（7），可插拔测试探针（5）的连接线从负母排端口（15）接出，在隔板（19）下方的壳体（20）上安装有抽气管（18）、正母排端口（14）与通讯控制保护接口（13），正母排端口（14）的连接线接在芯片吸腔（4）的上腔板上，抽气管（18）通过抽气口与芯片吸腔（4）相连，在隔板（19）下方的壳体（20）内设有驱动板（3），驱动板（3）与栅极测试探针（7）相连，由驱动板（3）的平移带动栅极测试探针（7）的平移，在隔板（19）下方设有陪测功率器件（2），在陪测功率器件（2）上安装有第一负载电感插孔（16.1）与第二负载电感插孔（16.2）。