[发明专利]一种多晶硅薄膜的质量检测方法和系统有效
| 申请号： | 201611256206.6 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106706641B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 叶昱均 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种多晶硅薄膜的质量检测方法，包括：向表面形成有多晶硅薄膜的基板照射光，并进行拍摄，以获得薄膜图像；根据薄膜图像的亮度确定最佳能量密度；按照设定的尺寸将薄膜图像分割成多个图像单元；获取图像单元中多晶硅薄膜的显示参数，获取对比结果，并计算最佳能量密度；根据对比结果获取合格的图像单元的数量；根据合格的图像单元的数量和图像单元的总数量判断多晶硅薄膜是否合格，若不合格，则控制加工设备对多晶硅薄膜进行激光退火处理，若合格，则结束检测。本发明还提供了一种多晶硅薄膜的质量检测系统。本发明可以将检测出的不合格产品最佳能量密度再加工得到合格产品，并同时获得最佳能量密度，增加了产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 薄膜 质量 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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