[发明专利]一种单面出光LED芯片制备方法在审
申请号: | 201611256713.X | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN108269885A | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | 章少华;管志斌 | 申请(专利权)人: | 晶能光电(江西)有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/46;H01L33/54 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 330096 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明提供了一种单面出光LED芯片制备方法,包括:S1依次在蓝宝石衬底上生长包括缓冲层、n型GaN层、发光层、p型GaN层的半导体发光薄膜,分别在n型GaN层和p型GaN层表面制备n电极和p电极,得到正装结构的LED晶圆片;S2对晶圆片进行划片、扩膜得到单颗LED芯片;S3对得到的LED芯片进行换膜,其中,LED芯片中发光面朝向膜一侧排列;S4对LED芯片中除去发光面的其他五个面镀金属反射膜,完成LED芯片的制备。避免了芯片的光从侧面溢出,解决了LED芯片五面出光的技术问题,提高了光的利用率,扩展了LED芯片的应用领域,尤其是要求精确配光的领域,如手电、车灯等。 | ||
搜索关键词: | 制备 单颗LED芯片 金属反射膜 表面制备 发光薄膜 正装结构 蓝宝石 光面 发光层 缓冲层 晶圆片 车灯 衬底 划片 面镀 配光 半导体 溢出 发光 芯片 侧面 生长 | ||
【主权项】:
1.一种单面出光LED芯片制备方法,其特征在于,所述单面出光LED芯片制备方法中包括:S1依次在蓝宝石衬底上生长包括缓冲层、n型GaN层、发光层、p型GaN层的半导体发光薄膜,分别在n型GaN层和p型GaN层表面制备n电极和p电极,得到正装结构的LED晶圆片;S2对所述晶圆片进行划片、扩膜得到单颗LED芯片;S3对得到的LED芯片进行换膜,其中,LED芯片中发光面朝向膜一侧排列;S4对所述LED芯片中除去发光面的其他五个面镀金属反射膜,完成LED芯片的制备。
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