[发明专利]一种长寿命颜色透明度可调的非晶态硬质涂层的制备方法

摘要

本发明提供一种长寿命颜色透明度可调的非晶态硬质涂层的制备方法，包括以下步骤将钴、铁、铊和硼粉末充分混合后，分别经表面压平和熔融铸造，得到粉末靶材和合金原始坯料；将合金原始坯料经热锻开坯之后进行冷轧变形，经高温再结晶热处理，再经搅拌摩擦加工进行晶粒细化，最后经低温去应力退火，得到金属合金靶材，其中粉末靶材和金属合金靶材的通式为(CoFe)aBbTac，其中abc均为原子百分数，取值范围为35≤a≤80,15≤b≤35,0≤c≤25；将粉末靶材和金属合金靶材分次放在多靶磁控溅射设备中，通入氩气和氧气，溅射得到长寿命颜色透明度可调的非晶态硬质涂层。

主权项

一种长寿命颜色透明度可调的非晶态硬质涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将直径小于100μm的钴、铁、铊和硼粉末充分混合后，放入靶材容器中，表面压平，得到粉末靶材，其中粉末靶材的通式为(CoFe)aBbTac，其中abc均为原子百分数，取值范围为：35≤a≤80,15≤b≤35,0≤c≤25；(2)将直径小于100μm的钴、铁、铊和硼粉末充分混合后，采用熔融铸造的方法制备得到合金原始坯料；(3)将步骤(2)制备的合金原始坯料经热锻开坯之后进行60‑90％的冷轧变形，经高温再结晶热处理2‑3h，再经搅拌摩擦加工进行晶粒细化，最后经低温去应力退火，得到金属合金靶材，其中金属合金靶材的通式为(CoFe)aBbTac，其中abc均为原子百分数，取值范围为：35≤a≤80,15≤b≤35,0≤c≤25；(4)将步骤(1)制备的粉末靶材和步骤(3)制备的金属合金靶材分次放在磁控溅射设备中，预抽真空至‑10‑4Pa，通入氩气和氧气，氩气流量为27sccm，氧气流量为0‑3.5sccm，工作气压为0.7‑0.8Pa，每次溅射30min后冷却30min，总溅射时间为0.5‑1.5h，溅射厚度为100‑400nm，得到长寿命颜色透明度可调的非晶态硬质涂层，其中长寿命颜色透明度可调的非晶态硬质涂层的颜色和透明度为完全不透明的黑色至半透明金黄色再至完全透明。