[发明专利]任意反射表面速度干涉仪的探针光匀化系统及匀化方法有效
申请号: | 201611258846.0 | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN106646505B | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 闫亚东;何俊华;王峰;韦明智;彭晓世;徐涛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01S17/58 | 分类号: | G01S17/58 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 陈广民 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: |
为了解决VISAR探针光照明的均匀性问题,本发明提供了一种任意反射表面速度干涉仪的探针光匀化系统,包括光纤输出激光器、准直镜头和缩束镜;准直镜头设置在光纤输出激光器的输出光路上,并且准直镜头的焦面位于光纤输出激光器的光纤端面处;缩束镜包括缩束镜前组和缩束镜后组;缩束镜前组设置在准直镜头的输出光路上;缩束镜后组设置在缩束镜前组的输出光路上,并且缩束镜前组和缩束镜后组的焦面重合,构成开普勒望远镜结构。所述光纤端面的光纤芯径D |
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搜索关键词: | 任意 反射 表面 速度 干涉仪 探针 光匀化 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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