[发明专利]金属Ga高效利用装置及方法在审
| 申请号： | 201611260086.7 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN108265279A | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 任国强;王建峰;徐科;张育民;徐俞 | 申请（专利权）人： | 苏州纳维科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/34 | 分类号： | C23C16/34;C23C16/448;C23C16/40 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属Ga高效利用装置及方法，所述金属Ga高效利用装置包括：生长设备、气液分离器；所述生长设备为利用金属Ga作为原材料的生长设备，其内部形成含Ga材料生长空间，所述气液分离器具有气液进口、气体出口以及液体Ga出口，所述气液分离器的气液进口通过管路与所述含Ga材料生长空间相连通，气液混合物通过所述气液进口进入所述气液分离器中，液体Ga通过所述液体Ga出口排出。本发明的金属Ga高效利用装置及方法通过气液分离器实现了液体Ga的回收利用，其提高了Ga源的利用率，显著降低了氢化物外延的生长成本，取得了较好的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 高效利用装置 气液分离器 金属 生长设备 材料生长 气液进口 气液混合物 回收利用 气体出口 气液分离 氢化物 液进口 排出 出口 生长 | ||
【主权项】：
1.一种金属Ga高效利用装置，其特征在于，所述金属Ga高效利用装置包括：生长设备、气液分离器；所述生长设备为利用金属Ga作为原材料的生长设备，其内部形成含Ga材料生长空间，所述气液分离器具有气液进口、气体出口以及液体Ga出口，所述气液分离器的气液进口通过管路与所述含Ga材料生长空间相连通，气液混合物通过所述气液进口进入所述气液分离器中，液体Ga通过所述液体Ga出口排出。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
