[发明专利]基于激光水射流的晶圆减薄设备及方法

摘要

本发明提供一种基于激光水射流的晶圆减薄设备及方法，包括：静电吸盘，适于吸附待减薄晶圆；水箱，位于静电吸盘一侧；水箱邻近静电吸盘的侧壁设有通孔，水箱中的水经由通孔形成射向待减薄晶圆的水射流；水箱远离静电吸盘的侧壁上设有贯穿水箱侧壁的第一透镜；激光发射装置，位于水箱远离静电吸盘一侧；激光发射装置适于发射水平激光束；第二透镜，位于水箱与激光发射装置之间；第二透镜与第一透镜适于将激光发射装置发射的水平激光束水平汇聚于水射流内，并与水射流一起至待减薄晶圆的边缘以对待减薄晶圆进行减薄。本发明的基于激光水射流的晶圆减薄设备通过使用激光束对待减薄晶圆进行减薄，操作简单、减薄速度较快、耗时较短、效率更高。

主权项

1.一种基于激光水射流的晶圆减薄设备，其特征在于，包括：静电吸盘，适于吸附待减薄晶圆；水箱，位于所述静电吸盘一侧，且与所述静电吸盘具有间距；所述水箱邻近所述静电吸盘的侧壁设有通孔，所述水箱中的水经由所述通孔形成射向所述待减薄晶圆的水射流；所述水箱远离所述静电吸盘的侧壁上设有贯穿所述水箱侧壁的第一透镜，所述第一透镜与所述通孔对应设置；激光发射装置，位于所述水箱远离所述静电吸盘一侧，且与所述水箱具有间距；所述激光发射装置适于发射水平激光束；第二透镜，位于所述水箱与所述激光发射装置之间，且与所述水箱及所述激光发射装置均具有间距；所述第二透镜与所述第一透镜配合使用，适于将所述激光发射装置发射的水平激光束水平汇聚于所述水射流内，并与所述水射流一起至所述待减薄晶圆的边缘以对所述待减薄晶圆进行减薄。