[发明专利]低成本的硅片切割方法

摘要

本发明涉及硅片切割技术领域，现有的硅片切割工艺中，由于砂浆消耗量大，为了节约成本，大多数企业采用将回收砂浆与新砂浆配置成成品砂浆的方式使用，但配置时新砂和新切割液使用比例高，而且后续清洗工艺清洗用水量大，无法循环利用，造成生产成本较高，为了解决这一技术问题，本发明提供一种低成本的硅片切割方法，通过改变成品砂浆配置方案中新砂和新切割液的使用比例，和对后续清洗工艺产生的废水有效回收利用，从而达到降低生产成本的效果。

主权项

一种低成本的硅片切割方法，其步骤包括：A.切割机利用成品砂浆对硅棒进行切割，切割完成，下料至脱胶机。B.脱胶机自来水喷淋预清洗；C.脱胶机自来水超声清洗；D.脱胶机乳酸脱胶，下料至清洗机；E.清洗机柠檬酸超声清洗；F.清洗机自来水溢流超声漂洗；G.清洗机药剂超声清洗；H.清洗机纯水溢流漂洗，下料至分选台；I.分选台分选检验后包装出货。所述步骤A中成品砂浆的配置方法为：a.新砂浆配置：新砂和回收砂按照6:4的比例配置成砂，新切割液和回收切割液按照1:9的比例配置成切割液；将砂、切割液按照1:1的比例配置成密度为1.660‑1.670kg/L的悬浊液，搅拌8小时后进行密度监控，符合新砂浆标准后用于成品砂浆配置，新砂浆标准如下：D50值：9.40‑12.00；小颗粒累计(0‑5.13um)：＜5％；粒径集中累计(7.50‑13.31um)：≥80；最大颗粒(19.50um)：＜0.15％；PH值25℃：5.0‑7.5；电导率(us/cm)：＜30；粘度(mPa·s)：240‑320；比重25℃(kg/L)：1.665‑1.670；含水率：≤0.5％。b.在线砂浆配置：将切割产生的废砂浆用切割液稀释至1.5‑1.6kg/L。然后将稀释好的废砂浆用离心机分离为一次重液和一次轻液。再用压滤机对一次轻液进行压滤，产生在线回收切割液；将在线回收切割液加入一次重液中加入进行调和，将一次重液的密度调整至1.55‑1.6kg/L，然后再用离心机将一次重液分离为二次重液和二次轻液。用压滤机对二次轻液进行压滤，产生在线回收切割液。将在线回收切割液加入二次重液中进行调和，将二次重液的密度调整至1.680‑1.685kg/L，即为在线砂浆。c.成品砂浆配置：将配置完成的新砂浆和在线砂浆按照2:8的比例混合为成品砂浆，搅拌2小时后进行密度监控，符合成品砂浆标准后用于切割，成品砂浆标准如下：D50值：8.65‑9.40；小颗粒累计(0‑5.13um)：＜6％；粒径集中累计(7.50‑13.31um)：≥80；最大颗粒(19.50um)：＜0.2％；PH值25℃：5.0‑7.5；电导率(us/cm)：＜30；粘度(mPa·s)：200‑280；比重25℃(kg/L)：1.675‑1.680；含水率：≤0.8％。