[发明专利]光电器件在审

专利信息
申请号: 201611264440.3 申请日: 2016-12-30
公开(公告)号: CN106601840A 公开(公告)日: 2017-04-26
发明(设计)人: 林岳明 申请(专利权)人: 苏州爱彼光电材料有限公司
主分类号: H01L31/0392 分类号: H01L31/0392;H01L33/16
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 代理人: 唐清凯
地址: 215215 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种光电器件,其包括复合衬底,包括硅衬底层以及键合在所述硅衬底层上的蓝宝石衬底层;器件主体结构,形成所述蓝宝石衬底层上;以及驱动芯片,位于所述硅衬底层远离所述蓝宝石衬底层的一侧。上述光电器件,采用蓝宝石衬底层与硅衬底层键合而成的复合衬底,这样可以在蓝宝石衬底层上生长高质量的外延层(例如高质量的氮化镓层),从而有利于获得高质量的器件主体结构,进而有利于制造出性能优异的光电器件;同时该复合衬底的硅衬底层,可以满足大尺寸主流生产线的需求,与现有的硅衬底工艺兼容;另外,还避免使用大尺寸的蓝宝石片,可以有效降低光电器件的成本。
搜索关键词: 光电 器件
【主权项】:
一种光电器件,其特征在于,包括:复合衬底,包括硅衬底层以及键合在所述硅衬底层上的蓝宝石衬底层;器件主体结构,形成所述蓝宝石衬底层上;以及驱动芯片,位于所述硅衬底层远离所述蓝宝石衬底层的一侧。
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