[发明专利]一种MEMS红外光源及其制作方法

摘要

本发明公开一种MEMS红外光源及其制作方法，其中，MEMS红外光源包括衬底、支撑层、金属电极、热偶条结构层、加热电阻层、隔离保护层和辐射层，所述热偶条结构层形成在红外光源内部芯片，形成耦合热电堆形成温度传感器，采用热电堆耦合的温度传感器实时监测红外光源的辐射温度变化，由于热电堆耦合的温度传感器制作工艺成熟，测量精度高，温度测量范围大，具有高灵敏度和稳定性的优势，可有效提高NDIR系统的探测精度和分辨率，在NDIR气体传感领域有应用前景。由于MEMS红外光源的各个结构均可以采用CMOS或MEMS工艺制作，从而便于与MEMS红外光源内部芯片的制作工艺兼容，减小了MEMS红外光源的制作工艺难度。

主权项

1.一种MEMS红外光源，其特征在于，包括：衬底；位于所述衬底表面的支撑层；位于所述支撑层背离所述衬底表面的金属电极、热偶条结构层和加热电阻层，所述加热电阻层位于所述支撑层的中心区域，所述热偶条结构位于所述加热电阻层的相对两侧，所述金属电极位于所述加热电阻层的另外的相对两侧，且所述金属电极与所述加热电阻层欧姆接触；位于所述加热电阻层背离所述支撑层表面的隔离保护层；位于所述隔离保护层背离所述加热电阻层表面的辐射层。