[发明专利]离子源放电模块及其工作方法有效
| 申请号： | 201611268725.4 | 申请日： | 2016-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN106887375B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 洪欢欢;闻路红;宁录胜;赵鹏;陈瑞强 | 申请（专利权）人： | 宁波华仪宁创智能科技有限公司;宁波大学 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种离子源放电模块及其工作方法，所述离子源放电模块包括：陶瓷管，所述陶瓷管包括外径较大部分和外径较小部分；金属件，所述金属件设置在所述外径较小部分的外围，并与所述陶瓷管的外径较大部分连接在一起；玻璃管，所述玻璃管设置在所述外径较小部分的外围，左侧与所述金属件连接，右侧连接石英管；所述金属件和玻璃管与所述外径较小部分的外缘间的距离均大于零；石英管，所述石英管包括内径较大部分和内径较小部分，所述内径较大部分的端部与所述玻璃管的右侧连接；所述石英管与所述外径较小部分间的距离大于零。本发明具有可靠性好、结构简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 放电 模块 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子源放电模块；其特征在于：所述离子源放电模块包括：陶瓷管，所述陶瓷管包括外径较大部分和外径较小部分；金属件，所述金属件设置在所述外径较小部分的外围，并与所述陶瓷管的外径较大部分连接在一起；玻璃管，所述玻璃管设置在所述外径较小部分的外围，左侧与所述金属件连接，右侧连接石英管；所述金属件和玻璃管与所述外径较小部分的外缘间的距离均大于零；石英管，所述石英管包括内径较大部分和内径较小部分，所述内径较大部分的端部与所述玻璃管的右侧连接；所述石英管与所述外径较小部分间的距离大于零。
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