[发明专利]用于优化通过被构形的孔形成的带电粒子束的方法有效
| 申请号： | 201611271120.0 | 申请日： | 2016-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN106683968B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | R·斯温福德;M·马佐斯;D·W·塔格尔;W·M·施泰因哈德特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/26;H01J37/21 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 胡莉莉;刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于优化通过被构形的孔形成的带电粒子束的方法。用于带电粒子束处理的方法包括：从离子源发射离子；将离子形成为离子束；引导离子束通过光学镜筒，光学镜筒具有沿着光轴定位的光学部件；引导离子束通过基准孔，以形成具有基准束电流和基准束形状的基准束；调节光学部件以在工件表面处提供想要的基准束轮廓；以及通过替代通过基准孔而引导离子束通过工作孔以形成工作束，从而处理工件，工作束具有工作束电流和在工件表面上的工作束形状，工作束电流大于基准束电流，工作束形状与基准束形状不同；其中基准束轮廓包括沿着第一方向的边沿轮廓，并且工作束具有沿着相同方向的相同边沿轮廓，由此提供更高电流的工作束以与基准束相比更快地处理工件，同时在至少一个方向上提供与基准束的边沿锐度类似的边沿锐度。描述了用于执行所述方法的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 优化 通过 构形 形成 带电 粒子束 方法 | ||
【主权项】：
一种用于工件的带电粒子束处理的方法，包括：从离子源发射离子；将离子形成为离子束；引导离子束通过光学镜筒，光学镜筒具有沿着光轴定位的光学部件；引导离子束通过基准孔，以形成具有基准束电流和基准束形状的基准束；调节光学部件以在工件表面处提供想要的基准束轮廓；通过替代通过基准孔而引导离子束通过工作孔以形成工作束，从而处理工件，工作束具有工作束电流和在工件表面上的工作束形状，工作束电流大于基准束电流，工作束形状与基准束形状不同；以及其中基准束轮廓包括沿着第一方向的边沿轮廓，并且工作束具有沿着相同方向的相同边沿轮廓，由此提供更高电流的工作束以与基准束相比更快地处理工件，同时在至少一个方向上提供与基准束的边沿锐度类似的边沿锐度。
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