[实用新型]真空紫外光谱采集装置有效
| 申请号： | 201620005367.7 | 申请日： | 2016-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN205373884U | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王庆祥;吕全超;洪波;吴锋明;俞晓峰;胡建坤;喻正宁;韩双来 | 申请（专利权）人： | 聚光科技（杭州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310052 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空紫外光谱采集装置，包括测量光室，所述光谱采集装置进一步包括：循环单元，所述循环单元与测量光室相连通，并与所述测量光室构成循环气路；气路选择单元，所述气路选择单元设置在所述循环气路上，使所述测量光室选择性地连通循环气路和/或恒压单元；恒压单元，所述恒压单元设置在与所述循环气路相连的气体支路上；压力传感器，所述压力传感器用于监测测量光室的压力；控制单元，所述控制单元根据所述测量光室的压力变化调节所述气路选择单元。本实用新型具有成本低、装置稳定、测量准确、自动恒压等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 紫外 光谱 采集 装置 | ||
【主权项】：
一种真空紫外光谱采集装置，包括测量光室，其特征在于：所述光谱采集装置进一步包括：循环单元，所述循环单元与测量光室相连通，并与所述测量光室构成循环气路；气路选择单元，所述气路选择单元设置在所述循环气路上，使所述测量光室选择性地连通循环气路和/或恒压单元；恒压单元，所述恒压单元设置在与所述循环气路相连的气体支路上；压力传感器，所述压力传感器用于监测测量光室的压力；控制单元，所述控制单元根据所述测量光室的压力变化调节所述气路选择单元。
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