[实用新型]一种硅片切割液脱水装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片切割液脱水装置。包括脱水釜与太阳能电板，所述脱水釜一侧设有控制器，所述太阳能电板电流输出端连有逆变器，所述逆变器的输出端连有蓄电池，所述蓄电池的输出端连接控制器，所述脱水釜内部设有深度传感器与温度传感器，所述脱水釜上部管道上靠近板式换热器的部位设有第二脱水前液储存罐，所述脱水釜上部与第二脱水前液储存罐之间的管道上设有泵。本实用新型控制器、控制阀与泵共同控制切割液输进脱水釜与输出脱水釜，深度计与控制器结合控制输进脱水釜的切割液的多少，温度计与控制器结合控制加热的时间，整个过程自动进行，提高了效率，节省了劳力。

主权项

一种硅片切割液脱水装置，包括脱水釜(7)与太阳能电板(9)，其特征在于：所述脱水釜(7)一侧设有控制器(4)，所述太阳能电板(9)电流输出端连有逆变器(10)，所述逆变器(10)的输出端连有蓄电池(11)，所述蓄电池(11)的输出端连接控制器(4)，所述脱水釜(7)内部设有深度传感器(5)与温度传感器(6)，所述脱水釜(7)上部一侧设有水蒸气冷凝管道(3)，所述脱水釜(7)上部的另一侧与下部均设有管道(1)，所述两段管道(1)靠近脱水釜的一端均设有控制阀(2)，所述两段管道(1)远离脱水釜(1)的末端分别设有第一脱水前液储存罐(12)与降温釜(13)，所述管道(1)靠近第一脱水前液储存罐(12)的交汇处设有板式换热器(8)，所述脱水釜(7)上部管道(1)上靠近板式换热器(8)的部位设有第二脱水前液储存罐(15)，所述脱水釜(7)上部与第二脱水前液储存罐(15)之间的管道(1)上设有泵(14)，所述第二脱水前液储存罐(15)靠近板式换热器(8)一侧的管道(1)连接到板式换热器(8)一侧上部，所述脱水釜(7)下部管道(1)连接板式换热器(8)一侧下部，所述板式换热器(8)另一侧上部与降温釜(13)之间的管道(1)设有泵(14)，下侧与第一脱水前液储存罐(12)之间的管道(1)上设有泵(14)。