[实用新型]用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备有效
申请号: | 201620010104.5 | 申请日: | 2016-01-05 |
公开(公告)号: | CN205258591U | 公开(公告)日: | 2016-05-25 |
发明(设计)人: | 黄俊淞;刘晓云;叶岚凯 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/54;C23C14/12 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备,涉及显示装置制作领域,能够解决现有蒸镀设备加热不均,蒸镀材料易喷射、易发生性能劣化,蒸镀镀率调整时不宜稳定的问题。本实用新型提供的用于蒸镀的加热装置,包括:坩埚,用于盛装蒸镀原料;可移动加热单元,设置于所述坩埚的外部且蒸镀时高于蒸镀原料;称重传感装置,设置于所述坩埚的下方,用于称重所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量并输出;控制器,用于接收所述称重传感装置的输出,根据所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量计算所述坩埚内蒸镀原料的液位高度,并根据所述液位高度控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度。 | ||
搜索关键词: | 用于 加热 装置 设备 | ||
【主权项】:
一种用于蒸镀的加热装置,其特征在于,包括:坩埚,用于盛装蒸镀原料;可移动加热单元,设置于所述坩埚的外部且蒸镀时高于蒸镀原料;称重传感装置,设置于所述坩埚的下方,用于称重所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量并输出;控制器,与所述称重传感装置相连,用于根据所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量计算所述坩埚内蒸镀原料的液位高度,并根据所述液位高度控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司,未经京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201620010104.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种铝箔表面清洗装置
- 下一篇:一种薄膜真空镀铝设备的蒸镀系统
- 同类专利
- 专利分类