[实用新型]一种等离子体增强型化学气相沉积设备有效
| 申请号： | 201620010508.4 | 申请日： | 2016-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN205347569U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李致文;张勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子体增强型化学气相沉积设备，包括炉管，设于该炉管内的石墨舟和电极装置，该炉管由腔体、位于腔体两端的前盖和后盖组成，其特征在于，所述的电极装置包括两个分开设置并固定在所述的前盖和后盖上的电极固定杆和正负电极杆，所述的正负电极杆分别使用固定块固定在所述的电极固定杆上，并在整个石墨舟长度上延伸。本实用新型电场从石墨舟前后两端导入，使得石墨舟尾部电场与石墨舟前部电场差异减小，整个石墨舟电场更加均匀、稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 增强 化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种等离子体增强型化学气相沉积设备，包括炉管，设于该炉管内的石墨舟和电极装置，该炉管由腔体、位于腔体两端的前盖和后盖组成，其特征在于，所述的电极装置包括两个分开设置并固定在所述的前盖和后盖上的电极固定杆和正负电极杆，所述的正负电极杆分别使用固定块固定在所述的电极固定杆上，并在整个石墨舟长度上延伸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，未经深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620010508.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
