[实用新型]一种石英舟有效
| 申请号： | 201620010619.5 | 申请日： | 2016-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN205881884U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英舟，包括两个支座、上连接杆和下连接杆，两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体，上连接杆连接在支座的上半部，下连接杆连接在支座的下半部，上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽，所述卡槽为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。本实用新型能够快速放入硅片，定位硅片，且不会造成硅片结构的破坏，不影响硅片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
【主权项】：
一种石英舟，包括两个支座、上连接杆和下连接杆，两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体，上连接杆连接在支座的上半部，下连接杆连接在支座的下半部，上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽，其特征在于：所述卡槽为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。
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