[实用新型]抛光盘组件以及具有其的抛光机有效
| 申请号： | 201620015694.0 | 申请日： | 2016-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN205520892U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 沈攀;李昆;路新春 | 申请（专利权）人： | 天津华海清科机电科技有限公司;清华大学 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B49/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了抛光盘组件以及具有其的抛光机，抛光盘组件包括：抛光盘，所述抛光盘上设置有贯穿所述抛光盘厚度的通孔；光学膜厚检测装置，所述通孔为所述光学膜厚检测装置的光学通道。通过在抛光盘上设置通孔，可以便于光学膜厚检测装置检测晶圆的膜厚值，从而可以使得晶圆的膜厚值符合要求，进而至少一定程度上可以提高晶圆的成品率。另外，设置有通孔的抛光盘结构简单且易于加工。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 组件 以及 具有 抛光机 | ||
【主权项】：
一种抛光机的抛光盘组件，其特征在于，包括：抛光盘，所述抛光盘上设置有贯穿所述抛光盘厚度的通孔；光学膜厚检测装置，所述通孔为所述光学膜厚检测装置的光学通道。
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