[实用新型]一种产品形貌质量管理电子显微镜有效
| 申请号： | 201620029012.1 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN205488032U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 魏晓敏 | 申请（专利权）人： | 勃利县质量技术监督检验检测中心 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28 |
| 代理公司： | 深圳市览众联合专利商标事务所(普通合伙) 44357 | 代理人： | 徐炫 |
| 地址： | 154500 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种产品形貌质量管理电子显微镜，包括聚光镜头、散光像差补偿器、二次电子探测器和样品室，电子枪下端设置有会聚光圈，所述会聚光圈一侧设置有对准线圈，所述对准线圈下端设置有所述聚光镜头，所述散光像差补偿器一侧设置有偏转线圈，产品聚光镜头一侧设置有所述二次电子探测器，所述产品聚光镜头下端设置有样品台，样品室下端设置有真空系统，终端光片一侧设置有电子集成器，光电倍增器一侧设置有二次电子收集器。有益效果在于：购买和维修价格便宜，成像效果清晰，可以方便企业对产品的质量进行观察，有益于企业对产品质量的管理，通过观察不合格产品能够使企业寻找出生产制造时出现的问题，及时更改，较少制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 产品 形貌 质量管理 电子显微镜 | ||
【主权项】：
一种产品形貌质量管理电子显微镜，其特征在于：包括聚光镜头、散光像差补偿器、二次电子探测器和样品室，电子枪下端设置有会聚光圈，所述会聚光圈一侧设置有对准线圈，所述对准线圈下端设置有所述聚光镜头，所述聚光镜头下端设置有所述散光像差补偿器，所述散光像差补偿器一侧设置有偏转线圈，产品聚光镜头一侧设置有所述二次电子探测器，所述产品聚光镜头下端设置有样品台，所述样品台下端设置有所述样品室，所述样品室下端设置有真空系统，终端光片一侧设置有电子集成器，光电倍增器一侧设置有二次电子收集器。
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