[实用新型]一种曝光机用水冷型灯源模组结构有效
申请号: | 201620034414.0 | 申请日: | 2016-01-13 |
公开(公告)号: | CN205353574U | 公开(公告)日: | 2016-06-29 |
发明(设计)人: | 万福均 | 申请(专利权)人: | 深圳市大众兰光设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;F21V29/56 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 任哲夫 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实施例提供一种曝光机用水冷型灯源模组结构,所述曝光机包括灯源,所述灯源为水冷型灯源模组结构,所述灯源模组结构包括冷却箱体,设置于冷却箱体顶部的衬板,安装设置于衬板上的UV LED灯源;冷却箱体内设置有至少一个通水机构,通水机构具有进水口和出水口。将UV LED灯源与水冷装置组合为一个整体,完成了UV LED灯源与水冷系统的整合,无需单独设置冷却系统,结构简单、有效缩小了设备的占用空间,提高了空间利用率。冷却灯源模组时,冷却水由进水口进入,通过完整的通水机构后由出水口流出,冷却效率高,可高达90%,同时,提供冷水的冷水机能耗约为0.45KW,相对于风冷系统降低了7.5KW,大大降低了能源消耗,是一种节能环保的冷却装置。 | ||
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【主权项】:
一种曝光机用水冷型灯源模组结构,其特征在于,所述曝光机包括灯源,所述灯源为水冷型灯源模组结构,所述水冷型灯源模组结构包括冷却箱体,设置于冷却箱体顶部的衬板,安装设置于所述衬板上的UV LED灯源;所述冷却箱体内设置有至少一个通水机构,所述通水机构具有进水口和出水口。
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