[实用新型]一种新型太阳能多晶硅片夹具有效
| 申请号： | 201620041514.6 | 申请日： | 2016-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN205355029U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 刘凯波;刘权 | 申请（专利权）人： | 温州冠天科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 325036 浙江省温*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种新型太阳能多晶硅片夹具，包括夹持件本体、吸盘、吸气本体和活动杆，所述的夹持件本体内为空心，所述的吸盘结构安装在夹持件本体的中心，并通过连接管与吸气本体，所述的吸盘与吸气本体之间还设有承压弹簧，所述的夹持件本体空心侧壁设有装置的活动杆，所述的活动杆前端设置与夹持件本体空心内，且在活动杆前端设置有防滑垫。整个装置设计合理，在生产加工过程中能够有效将太阳能多晶硅片夹持，操作简单，可进一步推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 太阳能 多晶 硅片 夹具 | ||
【主权项】：
一种新型太阳能多晶硅片夹具，包括夹持件本体、吸盘、吸气本体和活动杆，其特征在于，所述的夹持件本体内为空心，所述的吸盘结构安装在夹持件本体的中心，并通过连接管与吸气本体，所述的吸盘与吸气本体之间还设有承压弹簧，所述的夹持件本体空心侧壁设有装置的活动杆，所述的活动杆前端设置与夹持件本体空心内，且在活动杆前端设置有防滑垫。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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