[实用新型]一种超短工作距离大口径准分子激光聚焦物镜有效
| 申请号： | 201620044801.2 | 申请日： | 2016-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN205485030U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 陈涛;阳隽婷 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G02B13/24 | 分类号： | G02B13/24 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种超短工作距离大口径准分子激光聚焦物镜，主要涉及激光微加工领域。本实用新型的目的是提供一种准分子激光光束聚焦镜头，包含若干单正透镜及双胶合透镜，其特征在于该镜头所要达到的性能参数是：入瞳D＝30mm，焦距f′＝18mm，后焦距f＝0.5mm，光学场曲≤5％，最大视场为5°，全视场MYF值在50lp/mm时大于0.7。最终使得波长为248nm的准分子激光光束通过系统后得到的聚焦光斑直径可达微米量级，为实现准分子激光聚焦直写微细加工提供了一种可行方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超短 工作 距离 口径 准分子激光 聚焦 物镜 | ||
【主权项】：
一种超短工作距离大口径准分子激光聚焦物镜，镜片材质均为石英玻璃，其特征在于：从物方到像方依次为第一单正透镜(1)、第一双胶合透镜(2)、第二双胶合透镜(3)、第二单正透镜(4)、第三单正透镜(5)。
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