[实用新型]一种智能型真空镀膜机有效
申请号: | 201620047796.0 | 申请日: | 2016-01-19 |
公开(公告)号: | CN205501409U | 公开(公告)日: | 2016-08-24 |
发明(设计)人: | 刘玉杰 | 申请(专利权)人: | 天津涂冠科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/54 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 一种智能型真空镀膜机,包括箱体,所述箱体内设置有真空镀膜室,箱体的顶部设有箱盖,所述箱盖与箱体之间设有密封装置,所述密封装置包括第一密封圈和第二密封圈,所述箱盖的密封面上开设有密封槽,密封槽内放置有第一密封圈和第二密封圈,所述第一密封圈和第二密封圈之间开设有泄气槽,所述泄气槽上设有泄气孔;所述真空镀膜室的底部设有电加热装置,真空镀膜室内还设有电弧蒸发装置,所述箱盖的下侧设有温度传感器,箱体的上表面设置有控制装置。本实用新型的有益效果是结构设计合理,使用方便,采用双层密封圈的结构,使得密封性能更可靠,不会因其中一个密封圈的失效而影响真空镀膜室的密封性。 | ||
搜索关键词: | 一种 智能型 真空镀膜 | ||
【主权项】:
一种智能型真空镀膜机,包括箱体,其特征在于,所述箱体内设置有真空镀膜室,箱体的顶部设有箱盖,所述箱盖与箱体之间设有密封装置,所述密封装置包括第一密封圈和第二密封圈,所述箱盖的密封面上开设有密封槽,密封槽内放置有第一密封圈和第二密封圈,所述第一密封圈和第二密封圈之间开设有泄气槽,所述泄气槽上设有泄气孔;所述真空镀膜室的底部设有电加热装置,真空镀膜室内还设有电弧蒸发装置,所述箱盖的下侧设有温度传感器,箱体的上表面设置有控制装置。
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