[实用新型]一种新型衬底固定装置

摘要

本实用新型涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种新型衬底固定装置。该新型衬底固定装置，包括底座、推块导板、推块、卡件固定板、复位弹簧、卡件和连杆，所述推块导板和推块固定在底座上。本实用新型所涉及的一种新型衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底座和卡件之间，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。

主权项

一种新型衬底固定装置，包括底座（1）、推块导板（2）、推块（3）、卡件固定板（4）、复位弹簧（5）、卡件（6）和连杆（7），其特征在于：所述推块导板（2）和推块（3）固定在底座（1）上，所述复位弹簧（5）的一端通过弹簧固定柱一（8）固定在底座（1）上，所述复位弹簧（5）的另一端通过弹簧固定柱二（9）固定在推块（3）上，所述推块（3）能够在推块导板（2）上滑动，所述卡件（6）的中部通过转轴三（12）设置在卡件固定板（4）上，所述卡件（6）能够绕转轴三（12）转动，所述连杆（7）的一端通过转轴一（10）与推块（3）可活动连接在一起，所述连杆（7）的另一端通过转轴二（11）与卡件（6）可活动连接在一起。