[实用新型]一种多片衬底喷胶取片装置

摘要

本实用新型涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种多片衬底喷胶取片装置。该多片衬底喷胶取片装置，包括装置底板、装置顶板、气缸、顶杆、平衡板、顶针固定板，载片夹具和定位柱。本实用新型所涉及的一种多片衬底喷胶取片装置上设有载片夹具。多片衬底能够放置在载片夹具上的L形定位块内，接着多片衬底在载片夹具上进行喷胶，待喷胶完成，将载片夹具放置在装置顶板上，使载片夹具上的定位孔对应装置顶板上的定位柱，接着气缸充气，顶针就能够将多片衬底顶起，从而使操作员方便快捷的将衬底取走，杜绝了衬底的破损。此外，该多片衬底喷胶取片装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。

主权项

一种多片衬底喷胶取片装置，包括装置底板（1）、装置顶板（2）、气缸（3）、顶杆（4）、平衡板（5）、顶针固定板（6），载片夹具（8）和定位柱（13），其特征在于：所述气缸（3）固定在装置底板（1）上，所述气缸（3）上的顶杆（4）的顶端固定有平衡板（5），所述顶针固定板（6）固定在平衡板（5）上，所述顶针固定板（6）上固定有多根顶针（7），所述定位柱（13）固定在装置顶板（2）上，所述载片夹具（8）对应顶针（7）和定位柱（13）设有顶针孔（11）和定位孔（12），所述载片夹具（8）的两端设有把手（9），所述载片夹具（8）上设有多个L形定位块（10）。