[实用新型]基于高精度直线平移台的微位移传感器标定装置有效
| 申请号： | 201620055146.0 | 申请日： | 2016-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN205333035U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 裘祖荣;秦国花;苏智琨;王成林;李杏华 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 张金亭 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于高精度直线平移台的微位移传感器标定装置，包括调平支架、精密直线平移台、双频激光干涉系统、量块和微位移传感器固定块；所述精密直线平移台由所述调平支架支撑；所述微位移传感器固定块固接在所述调平支架上，在所述微位移传感器固定块上设有微位移传感器固定结构；所述双频激光干涉系统包括反射镜、干涉镜和激光头，所述反射镜和所述量块均固定在所述精密直线平移台的可动部件上，所述双频激光干涉系统的出射光线与反射光线平行于微位移传感器的运动轴线，并且对称分布于该运动轴线两侧。本实用新型能够对微位移传感器进行标定，以确定其位移量和数字输出值之间的输入-输出关系。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 高精度 直线 平移 位移 传感器 标定 装置 | ||
【主权项】：
一种基于高精度直线平移台的微位移传感器标定装置，其特征在于，包括调平支架、精密直线平移台、双频激光干涉系统、量块和微位移传感器固定块；所述精密直线平移台由所述调平支架支撑；所述微位移传感器固定块固接在所述调平支架上，在所述微位移传感器固定块上设有微位移传感器固定结构；所述双频激光干涉系统包括反射镜、干涉镜和激光头，所述反射镜和所述量块均固定在所述精密直线平移台的可动部件上，所述双频激光干涉系统的出射光线与反射光线平行于微位移传感器的运动轴线，并且对称分布于该运动轴线两侧。
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