[实用新型]一种用于单晶硅截断机的晶托装置有效
申请号: | 201620055183.1 | 申请日: | 2016-01-20 |
公开(公告)号: | CN205522035U | 公开(公告)日: | 2016-08-31 |
发明(设计)人: | 段景波;解培玉;崔陈晨;孙萌;杨勇;李浩;唐顺锋 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04 |
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地址: | 266114 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于单晶硅截断机的晶托装置,包括晶托框架、安装于晶托框架底部的滚轮组件,所述晶托装置还包括安装于晶托框架上的单棒夹具组件和单棒定中心组件,所述晶托框架上还安装有直线导轨、齿条、接料盒以及用于密封防护的防护罩和不锈钢防护板。本实用新型通过单棒定中心组件和单棒夹具组件自适应单晶硅棒的不同直径变化,并对单晶硅棒进行轴向定位和可靠支撑;保证了切割完成后单晶硅棒在晶托装置上的稳定性,避免了因切割完毕后单晶硅棒的位移引起切割效率及质量问题;此外,本实用新型还进行了密封防护设置,避免了切割硅粉等杂物的堵塞,保证了晶托装置的使用寿命及可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶硅 截断 装置 | ||
【主权项】:
一种用于单晶硅截断机的晶托装置,包括晶托框架、安装于晶托框架底部的滚轮组件,其特征在于:所述晶托装置还包括安装于晶托框架上的单棒夹具组件和单棒定中心组件,所述晶托框架上还安装有直线导轨、齿条、接料盒以及用于密封防护的防护罩和不锈钢防护板,所述单棒夹具组件和单棒定中心组件通过安装在直线导轨上的滑块横向移动。
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