[实用新型]焊接式溅射管靶有效
| 申请号： | 201620059792.4 | 申请日： | 2016-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN205347565U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陈俊杰;方家芳;马丹萍 | 申请（专利权）人： | 昆山全亚冠环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于溅射靶材技术领域，涉及一种焊接式溅射管靶，包括互相焊接的靶材和背管，所述靶材外径大于所述背管，所述靶材一端设有具有底壁和侧壁的沉孔，所述底壁与背管的端面之间通过耐高温胶贴合，所述侧壁与背管的外壁之间缝隙通过焊料填充。本实用新型缩小了背管的结构，使靶材与背管接合深度减小，焊合率高，保证了散热性能。 | ||
| 搜索关键词： | 焊接 溅射 | ||
【主权项】：
一种焊接式溅射管靶，包括互相焊接的靶材和背管，所述靶材外径大于所述背管，其特征在于：所述靶材一端设有具有底壁和侧壁的沉孔，所述底壁与背管的端面之间通过耐高温胶贴合，所述侧壁与背管的外壁之间缝隙通过焊料填充。
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