[实用新型]激光直写倾斜双面曝光装置有效
| 申请号： | 201620059992.X | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN205539921U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 徐巍;赵华;张伟;王翰文;马汝治 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人： | 周爱芳 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种激光直写倾斜双面曝光装置，包括底座（4）和曝光装置（2），曝光装置（2）有两组，均倾斜设置在底座（4）的上表面，在两组曝光装置（2）的中间位于底座（4）上表面设置滑移座（5），曝光装置（2）为多棱镜集成组件，多棱镜集成组件上设置多棱镜投影光路（1）。有益效果是：能够同时曝光被曝光工件的正反两面，使得工作的效率提升一倍，更好的提高了产能，增加了工作的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 倾斜 双面 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种激光直写倾斜双面曝光装置，其特征在于，包括底座（4）和曝光装置（2），曝光装置（2）有两组，均倾斜设置在底座（4）的上表面，在两组曝光装置（2）的中间位于底座（4）上表面设置滑移座（5），曝光装置（2）为多棱镜集成组件，多棱镜集成组件上设置多棱镜投影光路（1）。
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