[实用新型]多排交叉布置DMD投影的激光直写双面曝光系统有效
| 申请号： | 201620060013.2 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN205608391U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 张伟;赵华;张伟;徐巍;王翰文;马汝治 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人： | 周爱芳 |
| 地址： | 221100 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多排交叉布置DMD投影的激光直写双面曝光系统，包括：垂直置于底座上表面的DMD集成组件以及被曝光工件；被曝光工件固定在Z轴板和Y轴板上，被曝光工件两侧均安装有DMD集成组件，每个DMD集成组件两面均安装有DMD器件投影光路，DMD集成组件的Y轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路对被曝光工件的两面同时进行垂直曝光。与现有的单工件台扫描曝光形式相比，本实用新型通过在被曝光工件两边垂直设置两套DMD器件投影光路能够同时曝光被曝光工件的正反两面，使用DMD器件作为投影光路的图形发生装置，DMD器件水平交叉固定，被曝光工件沿Z轴移动，对被曝光工件进行双面曝光，使得工作的效率提升一倍，更好的提高了产能，同时保证了产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 交叉 布置 dmd 投影 激光 双面 曝光 系统 | ||
【主权项】：
一种多排交叉布置DMD投影的激光直写双面曝光系统，其特征在于，包括：垂直置于底座上表面的DMD集成组件以及被曝光工件；被曝光工件固定在Z轴板和Y轴板上，被曝光工件两侧均安装有DMD集成组件，每个DMD集成组件两面均安装有DMD器件投影光路， DMD集成组件的Y轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路对被曝光工件的两面同时进行垂直曝光。
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