[实用新型]多探针测试组件有效
| 申请号： | 201620060253.2 | 申请日： | 2016-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN205450046U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 谢晓东 | 申请（专利权）人： | 绍兴科盛电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所(普通合伙) 33220 | 代理人： | 蒋卫东 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市绍*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于晶圆芯片的自动化测试组件，尤其是多探针测试组件，包括安装座和固定于安装座上的探针盘，阵列探针固定于探针盘上，阵列探针通过导线与测试仪器实现电连接。本实用新型将安装座固定在全自动探针台的机械臂上，测试台上放置被测试晶圆片，阵列探针与晶圆片上的芯片单元接触，在多个测试仪器同时发出的测试信号作用下，可一次性完成多个芯片单元的电性能测试，大大提高了测试效率，降低了测试成本。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 测试 组件 | ||
【主权项】：
多探针测试组件，其特征在于：包括安装座和固定于安装座上的探针盘，阵列探针固定于探针盘上，阵列探针通过导线与测试仪器实现电连接；所述安装座为铝合金材质，所述探针盘为聚乙烯材质，所述阵列探针的同一列探针逐一连接同一个测试仪器。
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