[实用新型]一种单面研磨装置

摘要

本实用新型涉及一种单面研磨装置，包括底座和同转轴设置于底座上的研磨底座，研磨底座内同转轴设置有研磨盘，研磨盘包括至少2个同心圆环结构的研磨铜环，研磨铜环以转轴为轴心设置；每个研磨铜环包括若干研磨铜块，研磨铜块间设有间隙。本实用新型中，当单面研磨装置开始研磨工作研磨盘产生热量时，由于研磨铜块间都有间隙，产生的热量可以依循研磨铜环扩散，热量最终分散到所有研磨铜块上，每块研磨铜块的变形又可以被研磨铜块间的间隙吸收，故虽然工作产生同样热量，热变形的量却较整个设置的研磨盘的变形量减少，晶片研磨精度提高，成品合格率提高，亦相应减少研磨盘修正频率，提高生产效率，满足长时间工作和大批量生产的需求。

主权项

一种单面研磨装置，包括底座和同转轴设置于底座上的研磨底座，所述研磨底座内同转轴设置有研磨盘，其特征在于：所述研磨盘包括至少2个同心圆环结构的研磨铜环，所述研磨铜环以转轴为轴心设置；所述每个研磨铜环包括若干研磨铜块，所述研磨铜块间设有间隙。