[实用新型]惯性约束聚变用大口径反射镜的精密装配结构

摘要

一种惯性约束聚变用大口径反射镜的精密装配结构，该结构包括高精度反射镜元件、镜框组件、镜体压板、垫片、挠性元件、挠性件压板及安装零部件的螺钉；所述反射镜元件装入镜框后，在其高精度镀膜反射面，由镜体压板压紧垫片进行固定预紧；在镜框组件的周向，四侧面上均开有一个矩形槽，槽中间开有矩形通孔；挠性元件装入矩形通孔后，由挠性件压板进行压紧；在高洁净光学装配工作环境下，挠性元件能够对大口径激光反射镜元件进行精确预紧和均匀施力，反射镜元件可以通过“建模估算-装配预紧-检测调整”的闭环控制方式达到极高的面形精度，实现惯性约束聚变装置高功率固体激光系统大口径反射镜元件的精密、洁净、高效的装配。

主权项

一种惯性约束聚变用大口径反射镜的精密装配结构，其特征在于：包括反射镜元件(1)、镜框组件(2)、镜体压板(3)、垫片(4)、挠性元件(5)、定位及预紧螺钉(6)和挠性件压板(7)；所述镜框组件(2)为矩形，在四侧面上均开有一个矩形槽，槽中间开有矩形通孔，在通孔边缘的槽面上开有多螺纹孔；所述挠性元件(5)装入矩形镜框(2)四侧面的矩形通孔中，与装入镜框组件(2)中的矩形反射镜元件(1)直接接触，所述挠性件压板(7)装入镜框组件(2)四侧面的矩形槽中，压紧挠性元件(5)；所述定位及预紧螺钉(6)拧入镜框(2)上的螺纹孔中从而对挠性件压板(7)进行固定，所述挠性件压板(7)压紧挠性元件(5)实现对于反射镜元件(1)的周向紧固；在所述镜框组件(2)的正面一侧的四侧面开有多个螺纹孔，用于安装矩形框状结构的镜体压板(3)以固定反射镜元件(1)，所述矩形框状结构的镜体压板(3)和反射镜元件(1)的镜面之间插入垫片(4)；在镜体压板(3)上开有多个螺纹孔采用定位及预紧螺钉(6)压紧垫片(4)以实现对反射镜元件(1)的正面紧固。