[实用新型]一种能够保持真空度的溅射镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种能够保持真空度的溅射镀膜装置，包括真空密封罩、编程面板和底座，所述底座固定安装在外壳体的底部，且底座的底部设置有万向自锁轮，所述外壳体的内部设置有真空吸气泵，所述真空吸气泵的右侧设置有微电脑控制装置，所述微电脑控制装置的右侧设置有配电箱。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型一种能够保持真空度的溅射镀膜装置结构科学合理，操作安全方便，采用溅射镀膜的方式给物件进行镀膜操作，具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点；而且在镀膜装置的内部安装了真空吸气泵，保证镀膜工作区间处于真空状态，使物件的镀膜操作更加稳定，物件镀膜后表面不会出现气泡等现象。

主权项

一种能够保持真空度的溅射镀膜装置，包括真空密封罩（2）、编程面板（6）和底座（14），其特征在于：所述底座（14）固定安装在外壳体（15）的底部，且底座（14）的底部设置有万向自锁轮（8），所述外壳体（15）的内部设置有真空吸气泵（5），所述真空吸气泵（5）的右侧设置有微电脑控制装置（7），所述微电脑控制装置（7）的右侧设置有配电箱（13），且微电脑控制装置（7）的上方设置有励磁线圈（4），所述励磁线圈（4）的右侧设置有氩气发生装置（12），且励磁线圈（4）的上方设置有电加热装置（11），所述电加热装置（11）的上方设置有阳极基体（3），所述真空密封罩（2）固定安装在外壳体（15）的上方，且真空密封罩（2）的内部设置有阳极装置（1），所述真空密封罩（2）上设置有手提把手（9），且真空密封罩（2）的右侧设置有密封锁装置（10），所述编程面板（6）固定安装在外壳体（15）的前方，所述阳极装置（1）、阳极基体（3）、励磁线圈（4）、真空吸气泵（5）、编程面板（6）、微电脑控制装置（7）、电加热装置（11）和氩气发生装置（12）均与配电箱（13）电性连接。