[实用新型]用于大型板材镀膜的工件架有效
| 申请号： | 201620077133.3 | 申请日： | 2016-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN205529016U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 李卫东;同建辉;孙婧 | 申请（专利权）人： | 天津众伟科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市北*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于大型板材镀膜的工件架，包括镀膜仓，镀膜仓顶板具有自转架，镀膜仓底部具有靶材架，还包括基片支撑框，基片支撑框的顶部与自转架连接，镀膜仓内壁位于其中部的位置上具有支撑环台，支撑环台上具有两组支撑滑动单元，支撑滑动单元包括支撑块，支撑块的底部具有滚珠，支撑块的上表面具有插槽，插槽的一端与支撑块的侧面贯通，另一端为封闭端，基片支撑框的底部具有与支撑块对应的插条，插条能从插槽的一端插入插槽内。本实用新型的有益效果是支撑结构更加稳定，转动时不会发生晃动，使镀膜效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 大型 板材 镀膜 工件 | ||
【主权项】：
用于大型板材镀膜的工件架，包括镀膜仓，所述镀膜仓顶板具有自转架，所述镀膜仓底部具有靶材架，其特征在于：还包括基片支撑框，所述基片支撑框的顶部与所述自转架连接，所述镀膜仓内壁位于其中部的位置上具有支撑环台，所述支撑环台上具有两组支撑滑动单元，所述支撑滑动单元包括支撑块，所述支撑块的底部具有滚珠，所述支撑块的上表面具有插槽，所述插槽的一端与所述支撑块的侧面贯通，另一端为封闭端，所述基片支撑框的底部具有与所述支撑块对应的插条，所述插条能从所述插槽的一端插入所述插槽内。
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