[实用新型]高效真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201620077134.8 | 申请日： | 2016-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN205529007U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 同建辉;李卫东;孙婧 | 申请（专利权）人： | 天津众伟科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市北*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种高效真空镀膜装置，包括真空镀膜仓，真空镀膜仓内的底部具有环形滑槽，环形滑槽的底部具有导电金属片，导电金属片与外部电源电连接，真空镀膜仓内具有转盘，转盘的中心具有转轴，转轴与电机连接，转盘上表面靠近其边缘处均布多个干锅放置架，干锅放置架上具有加热电阻，转盘与环形滑槽同轴线；每个干锅放置架的底部均具有电刷体，电刷体的下端限位于环形滑槽中，与导电金属片接触，电刷体与加热电阻电连接。本实用新型的有益效果是能同时对两个以上的基片进行镀膜，离子蒸汽流在镀膜腔中的分布更加均匀，镀膜效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 高效 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
高效真空镀膜装置，包括真空镀膜仓，其特征在于：所述真空镀膜仓内的底部具有环形滑槽，所述环形滑槽的底部具有导电金属片，所述导电金属片与外部电源电连接，所述真空镀膜仓内具有转盘，所述转盘的中心具有转轴，所述转轴与电机连接，所述转盘上表面靠近其边缘处均布多个干锅放置架，所述干锅放置架上具有加热电阻，所述转盘与所述环形滑槽同轴线；每个所述干锅放置架的底部均具有电刷体，所述电刷体的下端限位于所述环形滑槽中，与所述导电金属片接触，所述电刷体与所述加热电阻电连接。
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