[实用新型]一种用于微波等离子体化学气相沉积装置的石英钟罩

摘要

本实用新型公开了一种用于微波等离子体化学气相沉积装置的石英钟罩，所述石英钟罩，为下端圆柱形筒，上端为带有多个石英圆环的半球形封口；所述石英圆环呈水平阵列分布于半球形封口的中下部，且石英圆环的外径与圆柱形筒的外径相同，在外加风冷的条件下，该石英圆环起到增加散热的作用。应用本实用新型在微波等离子体化学气相沉积的过程中，能有效提高石英钟罩的散热能力，降低石英钟罩的温度，减缓活性基团在半球形封口内表面上的沉积，降低沉积物对等离子体放电的影响及对试样污染的倾向，有时降低石英钟罩温度，也会减轻等离子体对石英钟罩的刻蚀，采用本实用新型可适当提高输入的微波功率，提高试样的沉积速率和质量。

主权项

一种用于微波等离子体化学气相沉积装置的石英钟罩，其特征在于：所述石英钟罩下端为圆柱形筒，上端为带有多个石英圆环的半球形封口。