[实用新型]研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种研磨装置，其包含承载盘、至少一个被研磨物、砂轮盘及多个研磨齿。至少一个被研磨物连接承载盘。砂轮盘相对承载盘位移且具有中心。多个研磨齿连接砂轮盘且接触研磨被研磨物。各研磨齿包含近端与远端，近端具有近端宽度，而远端具有远端宽度。近端与砂轮盘的中心相隔一近端距离，远端与砂轮盘的中心相隔一远端距离。近端距离小于远端距离，且近端宽度大于远端宽度。借此，本实用新型的研磨装置，利用研磨齿内宽外窄的特殊形状来补偿研磨齿的近端磨耗量较远端大的差异，不但能降低研磨比值，还可有效缩小研磨后晶圆的总厚度变异。

主权项

一种研磨装置，其特征在于，所述研磨装置包含：承载盘；至少一个被研磨物，其连接所述承载盘；砂轮盘，其相对所述承载盘位移且具有中心；以及多个研磨齿，其连接所述砂轮盘，所述多个研磨齿接触研磨所述被研磨物，各所述研磨齿包含近端与远端，所述近端具有近端宽度，所述远端具有远端宽度，所述近端与所述中心相隔一近端距离，所述远端与所述中心相隔一远端距离，所述近端距离小于所述远端距离，且所述近端宽度大于所述远端宽度。