[实用新型]一种新型的等离子镀膜机有效
| 申请号： | 201620080740.5 | 申请日： | 2016-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN205576267U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 杨勇 | 申请（专利权）人： | 深圳晶钻智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种新型的等离子镀膜机，包括底板、安装座和密封罩，所述安装座设在所述底板上，所述密封罩设在所述安装座上，所述密封罩与所述安装座卡持连接，所述底板底部设置有真空泵和蒸发源，所述底板上设置有第一接线座和第二接线座，所述第一接线座上设置有基板，所述第二接线座一侧连接有线圈，所述第二接线座下方连接有射频电源，所述线圈下方设置有绝缘子，所述绝缘子与所述线圈可拆卸连接，所述绝缘子与所述底板固定连接，所述安装座一侧设置有气阀，该新型的等离子镀膜机调控方便，有效地控制沉积过程，改善了镀层的物理性质，容易拆卸组装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 等离子 镀膜 | ||
【主权项】：
一种新型的等离子镀膜机，其特征在于：包括底板、安装座和密封罩，所述安装座设在所述底板上，所述密封罩设在所述安装座上，所述密封罩与所述安装座卡持连接，所述底板底部设置有真空泵和蒸发源，所述底板上设置有第一接线座和第二接线座，所述第一接线座上设置有基板，所述第二接线座一侧连接有线圈，所述第二接线座下方连接有射频电源，所述线圈下方设置有绝缘子，所述绝缘子与所述线圈可拆卸连接，所述绝缘子与所述底板固定连接，所述安装座一侧设置有气阀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳晶钻智能科技有限公司，未经深圳晶钻智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620080740.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
