[实用新型]一种新型化学机械抛光装置有效
| 申请号： | 201620081624.5 | 申请日： | 2016-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN205310031U | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 陈宇飞;李懿;武建新 | 申请（专利权）人： | 武建新 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B55/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 010051 内蒙古自治区呼和*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型化学机械抛光装置，包括抛光头、研磨垫、转轴、传动轮，所述研磨垫紧贴换向轮布置并由所述传动轮传动，所述抛光头位于研磨垫上方，一侧与所述转轴连接，另一侧安装有研磨头，所述转轴上端与第一电动机输出轴连接，所述第一电动机固定在滑块装置上，所述滑块装置与丝杠之间靠螺旋副连接，所述丝杠的一侧终端与第二电动机输出轴连接，所述第二电动机下面安装有喷液臂，所述喷液臂与固定在地面上的底座连接，所述喷液臂的另一侧安装有喷液头，所述丝杠的两端连接有支撑座，所述支撑座与竖直气缸连接。有益效果在于：竖直气缸的连接可调节研磨头与研磨垫之间的压力，可适应不同的研磨要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 化学 机械抛光 装置 | ||
【主权项】：
一种新型化学机械抛光装置，包括抛光头、研磨垫、转轴、传动轮，所述研磨垫紧贴换向轮布置并由所述传动轮传动，所述抛光头位于研磨垫上方，一侧与所述转轴连接，另一侧安装有研磨头，所述转轴上端与第一电动机输出轴连接，所述第一电动机固定在滑块装置上，所述滑块装置与丝杠之间靠螺旋副连接，所述丝杠的一侧终端与第二电动机输出轴连接，所述第二电动机下面安装有喷液臂，所述喷液臂与固定在地面上的底座连接，所述喷液臂的另一侧安装有喷液头，所述丝杠的两端连接有支撑座，所述支撑座与竖直气缸连接。
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