[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201620082720.1 | 申请日： | 2016-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN205491150U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张金宇 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括设有凹槽的基底以及置于基底上的可动极板和固定极板，所述可动极板和固定极板相对且间隔设置，所述可动极板与固定极板之间设有防粘凸起，所述防粘凸起包括多个具有不同高度的凸起部。本实用新型的MEMS麦克风中，具有不同高度的凸起部可避免所述背板与所述振膜粘合，并且加工简单，防粘效果好。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，包括设有凹槽的基底以及置于基底上的可动极板和固定极板，所述可动极板和固定极板相对且间隔设置，其特征在于，所述可动极板与固定极板之间设有防粘凸起，所述防粘凸起包括多个具有不同高度的凸起部。
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