[实用新型]一种半封闭研磨液喷射装置有效
申请号: | 201620084059.8 | 申请日: | 2016-01-28 |
公开(公告)号: | CN205520969U | 公开(公告)日: | 2016-08-31 |
发明(设计)人: | 王鑫 | 申请(专利权)人: | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
主分类号: | B24B57/02 | 分类号: | B24B57/02 |
代理公司: | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人: | 张春霞;贾琦 |
地址: | 266114 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 为解决蓝宝石衬底DMP加工过程中,金刚石研磨液喷射不均匀以及浪费问题,本实用新型提供一种半封闭研磨液喷射装置,属于蓝宝石衬底加工技术设备领域,包括研磨液储罐和研磨液管,研磨液管下端设置于研磨液储罐内,上端设置于研磨液储罐外,还包括气压管,所述气压管一端设置于研磨液储罐内,另一端与高压气连通。所述研磨液管上端端口设置一开口向外的半封闭罩。本实用新型通过设置气压管,并在研磨液管上端端口设置半封闭罩,结合滴液法和喷液法的优点,完全改变了现有技术中滴液法浪费研磨液和喷液法喷液效率低、喷液不均匀的问题。本实用新型有效控制研磨液喷洒区域,提高了研磨液喷洒均匀性,减少研磨液浪费,达到了提高质量、降低成本的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 封闭 研磨 喷射 装置 | ||
【主权项】:
一种半封闭研磨液喷射装置,包括研磨液储罐(1)和研磨液管(2),研磨液管(2)下端设置于研磨液储罐(1)内,上端设置于研磨液储罐(1)外,其特征在于:还包括气压管(3),所述气压管(3)一端设置于研磨液储罐(1)内,另一端与高压气连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司,未经青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201620084059.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:玻璃扫光设备
- 下一篇:一种钢板弹簧卡子除锈除毛刺滚筒机