[实用新型]一种半封闭研磨液喷射装置有效

专利信息
申请号: 201620084059.8 申请日: 2016-01-28
公开(公告)号: CN205520969U 公开(公告)日: 2016-08-31
发明(设计)人: 王鑫 申请(专利权)人: 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02
代理公司: 山东清泰律师事务所 37222 代理人: 张春霞;贾琦
地址: 266114 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 为解决蓝宝石衬底DMP加工过程中,金刚石研磨液喷射不均匀以及浪费问题,本实用新型提供一种半封闭研磨液喷射装置,属于蓝宝石衬底加工技术设备领域,包括研磨液储罐和研磨液管,研磨液管下端设置于研磨液储罐内,上端设置于研磨液储罐外,还包括气压管,所述气压管一端设置于研磨液储罐内,另一端与高压气连通。所述研磨液管上端端口设置一开口向外的半封闭罩。本实用新型通过设置气压管,并在研磨液管上端端口设置半封闭罩,结合滴液法和喷液法的优点,完全改变了现有技术中滴液法浪费研磨液和喷液法喷液效率低、喷液不均匀的问题。本实用新型有效控制研磨液喷洒区域,提高了研磨液喷洒均匀性,减少研磨液浪费,达到了提高质量、降低成本的目的。
搜索关键词: 一种 封闭 研磨 喷射 装置
【主权项】:
一种半封闭研磨液喷射装置,包括研磨液储罐(1)和研磨液管(2),研磨液管(2)下端设置于研磨液储罐(1)内,上端设置于研磨液储罐(1)外,其特征在于:还包括气压管(3),所述气压管(3)一端设置于研磨液储罐(1)内,另一端与高压气连通。
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