[实用新型]一种飞秒激光测量半导体器件少数载流子寿命的装置有效
| 申请号： | 201620098956.4 | 申请日： | 2016-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN205608144U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 孙诗明;程光华;唐大伟;孙方远;孙静;张国婷 | 申请（专利权）人： | 北京长城牡丹模具制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100080 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种飞秒激光测量半导体器件少数载流子寿命的装置，包括脉冲飞秒激光器，其特征在于，所述脉冲飞秒激光器上方具有分光器件，所述分光器件上方具有电控移动台，所述电控移动台上布置有角锥棱镜，所述电控移动台右端具有CCD器件，所述电控移动台下方具有第三反射镜，所述CCD器件下方具有第四反射镜，所述第四反射镜下方具有第二聚焦镜，所述第二聚焦镜下方具有半导体样品，所述半导体样品固定在样品固定架上，所述半导体样品左侧斜上方具有第一聚焦镜，所述第一聚焦镜左斜上方具有第二反射镜，所述第二反射镜下方具有第一反射镜，所述半导体样品右侧斜上方具有光电探测器。本实用新型可以研究各种能量状态下的载流子寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 测量 半导体器件 少数 载流子 寿命 装置 | ||
【主权项】：
一种飞秒激光测量半导体器件少数载流子寿命的装置，包括脉冲飞秒激光器(1)，其特征在于，所述脉冲飞秒激光器(1)上方具有分光器件(3)，所述分光器件(3)上方具有电控移动台(5)，所述电控移动台(5)上布置有角锥棱镜(6)，所述电控移动台(5)右端具有CCD器件(7)，所述电控移动台(5)下方具有第三反射镜(8)，所述CCD器件(7)下方具有第四反射镜(9)，所述第四反射镜(9)下方具有第二聚焦镜(11)，所述第二聚焦镜(11)下方具有半导体样品(14)，所述半导体样品(14)固定在样品固定架(15)上，所述半导体样品(14)左侧斜上方具有第一聚焦镜(10)，所述第一聚焦镜(10)左斜上方具有第二反射镜(4)，所述第二反射镜(4)下方具有第一反射镜(2)，所述半导体样品(14)右侧斜上方具有光电探测器(12)，所述光电探测器(12)右侧斜上方具有锁相放大器(13)，所述锁相放大器(13)下方具有计算机(16)。
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