[实用新型]移载机自动感测装置有效
| 申请号： | 201620103816.1 | 申请日： | 2016-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN205538472U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 小松省二 | 申请（专利权）人： | 乐华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 朱凌 |
| 地址： | 中国台湾新北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种移载机自动感测装置，其包括设有一基准面的晶舟盒盒体，且基准面对应设置有片体，该晶舟盒盒体上设有运算处理装置，晶舟盒盒体内设有刚性测量装置，且刚性测量装置包含设于晶舟盒盒体邻近基准面侧处的施压装置及距离测量装置，施压装置抵触片体，再距离测量装置为光学测距仪，施压装置及距离测量装置与运算处理装置信息连接，且令施压装置施压抵触片体，并经距离测量装置进行测量，借此本实用新型可达到测量片体的刚性的实用进步性。 | ||
| 搜索关键词： | 移载机 动感 装置 | ||
【主权项】：
一种移载机自动感测装置，其特征在于，包括：一晶舟盒盒体，该晶舟盒盒体上设有一基准面；一片体，该片体与该基准面对应设置；及一刚性测量装置，该刚性测量装置设于该晶舟盒盒体内，且该刚性测量装置具有设于该晶舟盒盒体邻近该基准面侧处的至少一施压装置、及至少一距离测量装置，并施压装置抵触该片体。
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