[实用新型]一种移载机自动感测装置有效
| 申请号： | 201620103835.4 | 申请日： | 2016-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN205482895U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 小松省二 | 申请（专利权）人： | 乐华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/22 | 分类号： | G01B21/22 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 朱凌 |
| 地址： | 中国台湾新北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型为有关一种移载机自动感测装置，主要结构包括一晶圆容置体、一活动设置于该晶圆容置体一侧的启闭机构、至少一设于该启闭机构上供感测该启闭机构的角度的感测装置、及一信息连结该感测装置的资料处理装置，且该感测装置的角度感测范围为-15度至15度之间，又该感测装置为机械式角度传感器、电子式角度传感器、光学式角度传感器或液压式角度传感器其中之一者，可借由感测装置达到感测门板开合角度的实用进步性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 移载机 动感 装置 | ||
【主权项】：
一种移载机自动感测装置，其特征在于，包含：一晶圆容置体；一活动设置于该晶圆容置体一侧的启闭机构；至少一供感测该启闭机构的角度的感测装置，设于该启闭机构上。
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